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HMDS烘箱

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智能型HMDS烘箱，全自動HMDS預處理系統預處理性能更好，更加均勻；效率高,一次可以處理多達4盒的晶片；更加節省藥液；低液報警、防藥液泄漏等具有很強的安全保護功能；，有可自動吸取添加HMDS功能，智能型的程式設定，一鍵完成作業。

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更新日期
2025-09-16

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2025-09-16

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HMDS烘箱原理，2-12寸晶圓預處理烘箱

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2025-09-16

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HMDS烘箱，hmds預處理烘箱

將HMDS涂到樣品表面后，經烘箱加溫可生成硅氧烷為主的化合物，將樣品表面由親水性變為疏水性，此疏水性能HMDS烘箱，hmds預處理烘箱夠很好的與光刻膠結合，增加了樣品表面與光刻膠的粘附作用。

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HMDS烤箱機臺，HMDS預處理烘箱

HMDS烤箱機臺，HMDS預處理烘箱箱體外殼采用高級不銹鋼制作，內膽為316L醫用不銹鋼材料制成；加熱器均勻分布在內膽外壁四周，內膽內無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀察工作室內物體一目了然。

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