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半導體烘烤設備

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半導體烤箱，wafer烤箱電子行業專用儀器

半導體烤箱，wafer烤箱于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料預處理烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

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更新日期
2025-09-16

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軟烘烤箱，硅片烤箱

軟烘烤箱，硅片烤箱工作室內充滿了惰性氣體N2,防止材料在烘烤時被氧化。無氧烤箱主要用于：晶圓、硅片、玻璃等制程烘烤，IC包裝，LCD,晶體管，傳感器，二極管，石英晶體振蕩器，混合集成電路板等電子、IC、醫療衛生、儀器儀表、工廠、高等院校、科研等部門。

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2025-09-16

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晶圓烤箱，超潔凈烤箱

晶圓烤箱，超潔凈烤箱工作室內充滿了惰性氣體N2,防止材料在烘烤時被氧化。無氧烤箱主要用于：晶圓、硅片、玻璃等制程烘烤，IC包裝，LCD,晶體管，傳感器，二極管，石英晶體振蕩器，混合集成電路板等電子、IC、醫療衛生、儀器儀表、工廠、高等院校、科研等部門。

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堅膜烘箱，真空堅膜烤箱

堅膜烘箱，真空堅膜烤箱用于半導體制造中半導體襯底片、硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料顯影后堅膜烘烤；也適用于涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤以及電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門。

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LED氣相成底膜處理系統

LED氣相成底膜處理系統，氣相成底膜真空烘箱在將晶片用濕法清洗臟污后甩干,為了增強晶片與光刻膠之間的黏附性,用六甲基二硅胺烷（HMDS）做成底膜處理。目前在LED芯片制造中用HMDS成膜處理一般是在一個集脫水烘焙和氣相成膜兩種作用的真空腔中進行,這種方法可以實現批量處理。

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